肩マイクロチョクラルスキー法
(SAPMAC) 肩マイクロチョクラルスキー法(Sapphire growth technique with micro-pulling and
shoulder expanding at cooled center, SAPMAC)，主にウクライナデイトンでは、大型サファイア結(jié)晶の成長のために進(jìn)化して改良された発泡體の製造方法及びチョクラルスキー法に基づいて、ハルビン工業(yè)大學(xué)の回転Kyropoulosフランス、複合材料と構(gòu)造、研究所マイクロ引くとしても知られていますEKCは、改善と開発に基づいてIkal-220結(jié)晶成長爐を作り出した。制御システム、真空システム、ヒーター、冷卻システムや熱保護(hù)システムを含む結(jié)晶成長システム。次の図は、チョクラルスキー法の肩トレースシステム図を置くために冷たい心臓部であり、SAPMAC外観で成長した単結(jié)晶は、通常、洋ナシの形であり、結(jié)晶の直徑は10?30ミリメートルサイズのるつぼ內(nèi)徑に成長することができます。種子は熱交換器の下部にクリップ分割形の種子に処理されます。熱交換器は、固定種結(jié)晶の回転と引っ張って、同様に熱交換器、結(jié)晶と融液との間で熱交換の役割を行うことができます。ヒーター、冷卻システムおよび結(jié)晶成長のために、均一な安定した制御溫度場を提供するために、熱保護(hù)システムの相乗効果。することができます肩徑と冷卻ステージのアニーリング特性を入れて結(jié)晶成長のシード、熱交換器、流量の作動流體の溫度を調(diào)節(jié)することにより、環(huán)境のるつぼ外壁を提供することができ、加熱溫度（発熱體溫度）水晶/溫度勾配、熱伝達(dá)、結(jié)晶成長の完了を溶かすの正確な制御。サファイア結(jié)晶の肩マイクロチョクラルスキー成長を置くために冷たい心は、通常、全體の結(jié)晶成長プロセスは、4つの制御段階では、シードに分割され、アニーリングとステージを冷卻する、肩の直徑を入れた。播種と肩の位相を入れ、主にネッキング達(dá)成し、結(jié)晶を制御するために肩を入れて低い加熱溫度（加熱システムは、るつぼの外壁溫度を提供することができます）で適切な場合には、熱交換器の冷卻能力を調(diào)整するために使用します。種子內(nèi)の転位の元の欠陥を迅速にすることができながら、結(jié)晶成長界面突出速度と溫度勾配は、インターフェイスフリップを防ぐために肩を入れて距離を減らすために、そのリリースの肩の角度が大きい結(jié)晶からの結(jié)晶表面への拡散は、効果的に結(jié)晶內(nèi)の欠陥の內(nèi)容を減らすことができます。インタフェースの溫度勾配は、界面の安定性を高めるために、結(jié)晶成長の駆動力を向上させることができます。結(jié)晶粒徑が所望の大きさ（マイクロチョクラルスキー結(jié)晶の直徑はるつぼ內(nèi)壁1?3cmの後、るつぼからの離れて育つことができ、肩を置くために冷たい心）に成長され、結(jié)晶は、直徑のステージに、直徑成長を始めた。結(jié)晶サイズの成長とともに、熱交換器の熱が急速に減少し、結(jié)晶成長の効率は、結(jié)晶は主に加熱溫度を低減することにより、直徑成長段階に入るので、
結(jié)晶成長を達(dá)成するために（加熱システムは、るつぼの外壁溫度を提供することができます。）

このメソッドの主な特徴：

1）大きなサイズの結(jié)晶成長、質(zhì)の良い材料の遺伝的特性全體結(jié)び目品の結(jié)晶化プロセスのことを確認(rèn)するために冷たい心を介して肩を入れた。

2）マイクロ引くと高精度のエネルギー制御では、全體の結(jié)晶成長プロセスには有意な熱擾亂をせず、欠陥開始の確率は、他の方法よりも大幅に低くなる。

3）のような唯一のマイクロ引いて、溫度場の亂れを減らすことができます。より均一な溫度場、従って健康の単結(jié)晶を確保する
成功率。

4）全體の結(jié)晶成長プロセスにおいて、結(jié)晶はるつぼがホットゾーンのままで要求されません。を正確に制御することができます
その冷卻速度のシステムと、熱ストレスを減らすことができます。

5）大型結(jié)晶の成長に適した、材料の使用率が以上の1.2倍Kyropoulosです。

作動流體を熱交換器として水を使用し

6）、結(jié)晶は他の方法よりもその場アニーリング、短いテストサイクル、低コストで達(dá)成することができます。

7）結(jié)晶成長の過程で、あなたは容易に結(jié)晶成長を観察することができます。

るつぼの必須の役割を受けない自由表面の成長の8）の結(jié)晶は、結(jié)晶のストレスを軽減することができます。

9）容易に速い速度に貢獻(xiàn)し、種子の必要な方向と "ネッキング"プロセスを使用することができます

肩マイクロチョクラルスキー法を置くために冷たい心臓の系統(tǒng)図。

冷卻水ロッド、2ヒーター】。シードステント;熱拡散の高レベル;るつぼ、結(jié)晶、S/ Lインタフェース、溶融、支持フレーム。熱