南韓LED藍(lán)寶石晶棒主要廠商Sapphire Technology Co., Ltd. (STC)現(xiàn)採(cǎi)用其自主技術(shù)-
垂直水平溫度梯度冷卻(Vertical Horizontal Gradient Freezing;VHGF)法,量產(chǎn)LED藍(lán)寶石晶棒,此技術(shù)係以垂直溫度梯度冷卻(Vertical Gradient Freezing;VGF)法為基礎(chǔ),而採(cǎi)用VGF
法生長(zhǎng)砷化鎵晶棒,可達(dá)成低電位密度的高品質(zhì)晶棒。除以VGF法為基礎(chǔ)外,STC所採(cǎi)
VHGF法又結(jié)合水平方向溫度梯度冷卻製程,如此一來(lái),可使長(zhǎng)晶大小(直徑與高度)與長(zhǎng)晶形狀相對(duì)較不受限。總而言之,溫度梯度法(TGT)、坩堝下降法(VGF)以及垂直水平溫度梯度冷卻法(VHGF)都是採(cǎi)取不同方法改變熱區(qū)的溫度梯度來(lái)生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體,但是,VHGF法為韓國(guó)STC公司的專利,具體採(cǎi)用什麼方法改變晶體生長(zhǎng)的溫度梯度卻不得而知。另外還有福建鑫晶精密剛玉科技有限公司自主研發(fā)的“頂部籽晶垂直溫度梯度法”技術(shù)(溫度梯度法籽晶是在坩堝下部的),也屬這一類方法。
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