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什麼是藍寶石

 

藍寶石詳細介紹
藍寶石的組成為氧化鋁(Al2O3),是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式結合而成,其晶體結構為六方晶格結構.它常被應用的切面有A-Plane, C-Plane及R-Plane.由於藍寶石的光學穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性.因此被大量用在光學元件、紅外裝置、高強度鐳射鏡片材料及光罩材料上,它具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高(2045℃)等特點,它是一種相當難加工的材料,因此常被用來作為光電元件的材料。目前超高亮度白/藍光LED的品質取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質,而氮化鎵磊晶品質則與所使用的藍寶石基板表面加工品質息息相關,藍寶石(單晶Al2O3 ) C面與Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數失配率小,同時符合GaN 磊晶製程中耐高溫的要求,使得藍寶石晶片成為製作白/藍/綠光LED的關鍵材料。


下圖則分別為藍寶石的切面圖;晶體結構圖上視圖;晶體結構側視圖; Al2O3分之結構圖;

藍寶石結晶面示意圖:

藍寶石

最常用來做GaN磊晶的是C面(0001)這個不具極性的面,所以GaN的極性將由製程決定

藍寶石

(a) 圖從C軸俯看                                                   (b)圖從C軸側看

藍寶石(AL2O3)特性表
分子式 AL2O3
密度 3.95-4.1克/立方厘米
晶體結構 六方晶格
晶格常數 a=4.785A,c=12.991A
莫氏硬度 9 (僅次於鑽石 10)
熔點 2045℃
沸點 3000℃
熱膨脹係數 5.8×10 -6 /K
比熱 0.418W.s/g/k
熱導率 25.12W/m/k (@ 1000℃)
折射率 no=1.768 ne=1.760
dn/dt 13×10 -6 /K(@633nm)
透光特性 T≈80%(0.3~5um)
介電常數 11.5(//c), 9.3(⊥c)

 

 

 

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