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定邊膜餵長(zhǎng)晶法

定邊膜餵法(Edge-defined Film-fed Growth, EFG)亦稱導(dǎo)模法。

生長(zhǎng)晶體的原理如圖所示。

將原料置於銥坩堝中,由射頻感應(yīng)加熱線圈加熱原料使之熔化,於坩堝中間放置一銥制模具,利用毛細(xì)作用讓熔湯攤平於銥制模具的上方表面,形成一薄膜,放下晶種使之碰觸到薄膜,於是薄膜在晶種的端面上結(jié)晶成與晶種相同結(jié)構(gòu)的單晶。晶種再緩慢往上拉升,逐漸生長(zhǎng)單晶。

同時(shí)由坩堝中供應(yīng)熔湯補(bǔ)充薄膜,由於此薄膜之邊緣受到銥?zāi)K薅ǎ瑏K扮演持續(xù)餵料以供晶體生長(zhǎng)之用,所以稱為限定邊緣膜餵法,簡(jiǎn)稱導(dǎo)膜法。

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